規(guī)格:定制
所屬類型:其它儀器
品牌:峰創(chuàng)
凈化工程要什么控制溫度濕度
凈化工程凈化室的溫度濕度主要是按照您的加工工藝請(qǐng)求來判斷,在滿意加工技術(shù)的標(biāo)準(zhǔn)下,應(yīng)該思考人的舒適感。隨著空氣潔凈度請(qǐng)求的發(fā)展,技術(shù)對(duì)溫度濕度的請(qǐng)求也愈來愈高,必須到達(dá)必定的溫度濕度等級(jí)。比如在大規(guī)模集成電路出產(chǎn)的光刻曝光技術(shù)中,作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱脹大系數(shù)的差請(qǐng)求越來越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就導(dǎo)致了0.24um線性脹大,所以有必要有±0.1度的控溫,一起請(qǐng)求濕度值一般較低,由于人出汗以后,對(duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這類車間不適合跨越25度。
濕度過高發(fā)生的問題更多。相對(duì)濕度超越55%時(shí),冷卻循環(huán)水管壁上會(huì)起霜,倘若發(fā)生在精細(xì)裝置或電路中,就會(huì)造成各類安全事件??諝鉂穸仍?0%易長銹。凈化工程要操縱溫度濕度具體有啥措施?
可是有關(guān)大部分凈化空間,為了避免外部污染入侵,要求堅(jiān)持內(nèi)部的壓力(靜壓)高過外界的壓力(靜壓)。壓差的保持一般應(yīng)契合下列準(zhǔn)則:
1.潔凈度等級(jí)高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度等級(jí)低的空間的壓力。
2.連通凈化室之間的門要開向潔凈度等級(jí)高的房間。
3.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
壓力差的維持依托新風(fēng)量,這個(gè)新風(fēng)量能夠抵償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。因此壓差的物理含義就是漏泄(或浸透)風(fēng)量經(jīng)過潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。
關(guān)于亂流凈化室因?yàn)殛P(guān)鍵靠空氣的稀釋作用來緩解室內(nèi)污染的程度,因此關(guān)鍵用換氣次數(shù)這一概念,而不直接用速度的概念,不過對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下請(qǐng)求;
1.送風(fēng)口出口氣流速度不適合太大,和單純空調(diào)房間比較,請(qǐng)求速度衰減更快,分散視點(diǎn)更大。
2.吹過水平面的氣流速率(比如側(cè)送時(shí)回流速度)不適合很大,防止吹起表層微粒重回氣流,而產(chǎn)生再污染,這一速率一般不適合大干0.2m/s。
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