徠卡全手動正置材料顯微鏡-Leica DM3 XL

規(guī)格：其他

所屬類型：其它儀器

品牌：徠卡

價格：電議
發(fā)布時間：2020/07/27 13:53
數(shù)量：大量
所在地：江蘇南京

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產(chǎn)品詳情

規(guī)格：其他
品牌：徠卡
用途：特別適合微電子和半導(dǎo)體檢測快速檢測的檢驗系統(tǒng)

Leica DM3 XL徠卡材料顯微鏡-微電子和半導(dǎo)體用快速檢測檢驗系統(tǒng)：

Leica DM3 XL徠卡全手動正置材料顯微鏡，是特別適合微電子和半導(dǎo)體檢測快速檢測的檢驗系統(tǒng)。在微電子和半導(dǎo)體的檢驗、過程控制或缺陷和故障分析中，要求檢測速度必須夠快，才能滿足快速做出反應(yīng)的要求。DM3 XL顯微鏡充分利用特有的宏觀物鏡視場寬敞30%，快速掃描大到6"樣品組件，檢驗系統(tǒng)憑借大視場能快速識別缺陷，提高工作效率。同時DM3?XL檢驗系統(tǒng)為中等預(yù)算用戶提供了品質(zhì)，是微電子和半導(dǎo)體理想的檢驗系統(tǒng)。

訂購熱線：186-0255-6086

Leica DM3 XL徠卡材料顯微鏡-關(guān)鍵特征體現(xiàn)優(yōu)勢：

高效檢驗大到 6" 樣品
• 0.7X放大倍率的宏觀物鏡實時采集35.7mm的視場，快速掃描大到6"的樣品組件，
更多細(xì)節(jié)盡收眼底，工作更高效
• 宏觀物鏡下可靠檢測晶片邊緣或中心顯影不足區(qū)域、不均勻的徑向膜厚度等
• 視場比普通物鏡寬敞30%，能有效節(jié)省檢驗時間，快速檢測、快速響應(yīng)

LED照明適用任何相襯觀察方法
• 徠卡特有的LED照明，提供恒定色溫，亮度等級自由調(diào)節(jié)，真彩色成像，始終可看到
相同顏色樣品，并獲得可復(fù)制的結(jié)果
• 適用于明場、暗場、微分干涉相襯、偏振、熒光和斜射照明
• LED使用壽命可達(dá)35000小時，低能耗，節(jié)約成本

以實惠價格享受徠卡卓越的光學(xué)特性
• 采用斜射照明檢驗側(cè)面、邊緣或碎屑，從不同角度照亮樣品，是簡單有效的形貌可視
方法
• 借助深暗場對比檢測樣品較低層中的微小劃痕或小顆粒，此外暗場的大工作距離有利
于保護(hù)珍貴樣品免受損傷

多種載物臺插件適合不同樣品
• 載物臺插件種類豐富，依據(jù)被檢測樣品形狀和尺寸的選配
• 載物臺尺寸：150 mm x 150 mm
• 供選配的載物臺插件：金屬插件、晶片支座或掩模支座
• 能實現(xiàn)載物臺快速粗略或精準(zhǔn)定位

直觀明了工作更舒適
• 彩色編碼功能對基本設(shè)置進(jìn)行簡化，提升工作速度，并減少操作失誤
• 采用人體工學(xué)設(shè)計，舒適性好，操作更簡單

系統(tǒng)	Leica DM3 XL技術(shù)參數(shù)
顯微鏡支架	固定的金屬支架
調(diào)焦	2檔調(diào)焦（粗調(diào)/微調(diào)，采用1μm測微尺刻度，帶頂部調(diào)焦限位裝置）或 3檔調(diào)焦（粗調(diào)/微調(diào)，采用1μm和4μm測微尺刻度，帶頂部調(diào)焦限位裝置）扭矩粗調(diào)焦，可調(diào)載物臺高度擋塊
載物臺沖程	30mm
入射光	堅固的入射光軸，帶4位反射鏡轉(zhuǎn)盤
	適用于BF/DF/POL/DIC和FLUO： ›帶斜射照明 ›帶彩色編碼光圈輔助（CCDA) ›帶中心孔徑可變光闌 ›帶入射光濾片匣（雙濾片，直徑32mm）
	下列光源可適應(yīng)所有入射光軸： ›LED-燈箱，帶入射光亮度內(nèi)部顯微鏡空件 ›鏡像室106，適用于兩種光源的同步調(diào)整 ›熒光照明SFL 100、4000和7000 ›EL6000、Hg50、Hg100、Xe75 ›12V100W鹵素光源（106或107/2系列燈箱），帶獨立變壓器
物鏡轉(zhuǎn)盤/物鏡	5孔 BF/DF M32、6孔 BF M25物鏡轉(zhuǎn)盤： ›5X、10X、20X高反差平場消色差EPI物鏡 ›2.5X-100X平場消色差EPI物鏡 ›1.25X-100X平場半復(fù)消色差物鏡 ›0.7X宏觀50X、100X、150X平場復(fù)消色差物鏡
LED照明	適用于所有相襯觀察方法的LED ›在所有亮度等級下實現(xiàn)真彩色成像 ›自由調(diào)節(jié) ›無需更換燈泡 – 無停機時間 ›可復(fù)制的結(jié)果
載物臺	有種類豐富的載物臺插件供選擇，適合多種類型和尺寸的試樣檢驗： ›載物臺尺寸：150x150mm ›載物臺插件：金屬插件、晶片支座或掩模支座 ›快速的粗略或精準(zhǔn)載物臺定位
附件	選配放大倍率調(diào)節(jié)器（1X、1.5X、2X）
	選配測量載物臺，適用于X、Y和Z向測量
透射光	借助帶光纖的外部冷光源照明
電源	穩(wěn)定的通用電源單元，90-230V

標(biāo)簽：其它儀器

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